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    Sonoscan超声波 SEM

    发布日期:2017-05-12 14:43

    微电子学领域

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    电子显微镜系统 Pentron PS230/250

    PEMTRON提供出色的电子显微镜系统SEMARTTM,高效率的成像过程、人性化的操作接口和极佳的影像。

    款式:标准型及五轴电动型

    分辨率:3.0nm 放大倍数:10× ~ 300,000×

    探测器:二次电子探测器,背向散射电子探测器(选配),EDAX能谱仪(选配)

    电子光学系统:

    加速电压:0.5kV ~ 30kV 电子枪:W形发夹式灯丝

    透镜系统:三透镜式聚焦系统 物镜光阑:30/50/100/200μm(可变光圈)

    自动功能:自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动饱和,自动对中

    显示系统:

    减少聚焦模式:320 × 240像素 TV 模式I:800 × 600像素

    TV 模式II:800 × 600像素 照相模式1:800 × 600像素

    照相模式2:1280 × 960像素 照相模式3:1600 × 1200像素

    照相模式4:3200 × 2400像素

    样品承载台规格:

    X:80mm,Y:60 mm,Z:50 mm,T:-10° ~ +90°,R:360°

    最大样品尺寸:100mm(直径) × 100mm(高度)

    EDAX Apollo X能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)

    优秀的能量分辨率可测至铍

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